往复真空泵在业内也被称为活塞式真空泵，它是获得低真空的重要设备，经过多年的市场淘洗和科学技术的支持，往复真空泵在钢水真空处理、真空浸渍、真空结晶、真空蒸馏等领域有非常优秀的抽出气体的能力，那么往复真空泵在其他领域中又是怎样体现它的用途的呢？接下来将为大家带来往复真空泵主要用途有哪些的介绍？
1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
3、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用往复真空泵；
5、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的往复真空泵可以满足要求；
通过以上对往复真空泵主要用途的介绍，相信大家一定对往复真空泵有了更进一步的了解，随着中国整个市场对往复真空泵的需求不断增大，为了满足这个大市场的需要，往复真空泵一定要有更好的提升，首先要做的是往复真空泵用途一定要有质的提升，如果往复真空泵不能满足市场的需要，及时对往复真空泵做再多的工作也是枉然。
