Edwards公司推出新型iXH500H干泵系列
全球抢先的真空和尾气处置设备及效劳供给商Edwards公司扩展其广受欢送的使用于严苛工艺的iXH产品系列，最新推出iXH500H系列干泵。新的500m3/h干泵系列针对需求较高气体流量和灵敏泵温范围的平板显示器、太阳能和先进半导体工艺而优化，具有较低的能耗和较长的均匀维护距离工夫(mean time between servicing， MTBS)，从而显着降低了拥有本钱，同时具有iXH450系列的小占位面积和氢气抽取才能。
Edwards平板显示器(FPD)和太阳能部门干泵产品经理Allister Watson博士表示：iXH家族的新增系列设计用于应对平板显示器、太阳能和先进半导体工艺中遇到的不同抽取应战，可以明显延伸泵的均匀维护距离工夫。迄今为止，行业缺乏具有应对这些不同应战灵敏性的一体化严苛工艺干泵。而iXH500H系列具有更灵敏地泵温控制，可以满足这一需求，同时增加多达15%的能耗。因此相比上一代iXH干泵，iXH500H的拥有本钱降低了30%。
平板显示器、太阳能和半导体制造商运用的真空泵必需顺应普遍的任务条件和资料。iXH500H系列具有温度灵敏性，因此适用于这类严苛工艺。iXH500H系列在低泵温下运转，无益于运用高流量腐蚀性气体的工艺(例如，FPD PECVD、薄膜太阳能PECVD、半导体MOCVD)，或运用热敏前体(pre-cursor)(例如原子层堆积)可以在泵内沉淀副产物的工艺。在有副产品物在泵内冷凝风险(例如高k电介质堆积)的场所，可以选择高任务温度的泵。
Edwards现可提供iXH500H系列干泵，并提供从现有的iXH450系列转换至新型iXH500H系列的晋级效劳。
