1、引起真空度低的原因有以下几种主要情况：
1）这次加的旋片式真空泵油的牌号和原先的不一样，不同的真空泵油牌号，由于不同牌号油内的饱和蒸汽压不一样，所以结果是不一样的。
解决方法：根据产品的型号规格更换正确的新真空泵油。
2）被抽气体的温度可能过高。
解决方法：降低被抽气体的温度，或可以加一个相应的换热器。
3）泵内的油路不通或者不畅，泵腔内没有保持一定量的油量。
解决方法：检查油路是否畅通，并加同类型的真空泵油。
4）另外也是由于真空泵油造成的真空度低的情况，就是真空泵油乳化变色，或者过脏。
解决方法：放干净泵内的所有真空泵油，更换同类型的真空泵油，并解决被抽气体中水蒸气和杂质不进入泵内。
5）配合的间隙改大。这是长期被抽气体内含有粉尘等，造成旋片和定子之间磨损后的间隙增大。
解决方法：检查间隙是否过大，更换新的零部件。
2、旋片式真空泵真空度不高的原因及解决方法：
1）如泵的冷却水不够，应打开或加大冷却水，如装配不当，造成单面磨损，应检查再装；
2）旋片真空泵使用时间长，磨损大、间隙增大，应修复或更换受损零件；
3）泵温太高；
4）油位过低未到视镜油线位置，应加够油量；
5）掺气阀未关严漏气，应关严；
6）油质变坏，更换新油；
7）前端板上油密封里的密封圈损坏或橡胶变质，应更换；
8）转片弹簧折断，应拆下更换；
9）阀门片损坏，应更换；
10）旋片真空泵漏大气多是由于泵的端面油封不良所致，这时应打开排气盖，检查B处油池是否缺油，如无油应从加油孔处加油，使油池B处积满油；
11）如被抽气体温度高，则应先将气体冷却后再进入旋片真空泵内。B、如吸入硬物缸内磨损，应修复更换；
12）进气处过滤网堵塞，取下清洗；
