品牌:能博 | 型号:NENGBO | 材质:钛合金 |
驱动方式:电动 | 用途:化工泵 | 泵轴位置:边立式 |
叶轮结构:封闭式叶轮 | 叶轮数目:多级 | 叶轮吸入方式:双吸式 |
原理:液环泵 | 性能:耐腐蚀 | 扬程:18(m) |
转速:2850(r/m) | 功率:3000(w) | 流量:20(m3/h) |
溅射抽气机理
如图5所示,在每个阳极筒内发生的物理过程,可分解成六个步骤展开说明。图5:溅射离子泵抽气机理示意图1)图中A表示在低压下,当阴极和阳极间加上高压时,引起场致发射。2)图中B表示在电、磁场作用下电子作螺旋运动。3)图中C表示电子与气体分子碰撞产生正离子和二次电子,引起雪崩效应。4)图中D表示正离子轰击钛阴极,溅散出钛原子落在阳极筒上,形成新鲜钛膜,也有的落在阴板外围区(β区)。5)图中E表示活性气体与新鲜钛膜反应形成化合物,化学吸附在阳极筒内壁。隋性气体被电离,离子在电场作用下轰击阴极过程中被排出。其排除方式为:(1)离子直接打入阴极表面内或β区(如图中a);斜射的离子切入阴极表面,离子和钛一起被掀掉,埋葬在β区(图中b);(2)离子没打入阴极内,从阴极得一电子恢复为中性原子或分子,反射到阳极内表面被埋掉(图中c),这叫“荷能中性粒子反射”。6)图中F表示对于氢,由于其质量小,氢离子轰击钛板的溅射产额甚低,氢离子 H2+ 或 H+ 打到钛板上与电子复合变成H原子,然后扩散入钛的晶格内,形成TiH固溶体而被排出。常温下这种固溶体中H2的浓度为0.05%,当温度高于250oC以上时,便又开始分解放出氢。钛大量吸氢后。由于放热反应钛板温度上升,达到250oC以后,除重新释放氢之外并导致钛板晶格膨胀造成龟裂。通常需加大钛板的散热能力来改善溅射离子泵对氢的排除能力。要提高对氢的抽速,需保持钛板表面清洁,选用晶格常数较大的β-Ti或钛合金作为阴极板,或引入与氢可比拟的氩含量。因氩的溅散产额高,可提高对氢的抽速。
纯钛钛泵经精密铸造和焊制而成,其流量5.7~400 m3/h,扬程4~125m。
纯钛钛泵的主要结构:红叶电机、德国博格曼MG1轴封;
在正常使用情况下,钛泵的寿命可达几万小时。佛山市能博机电有限公司是一家专业生产、开发用于电镀、化工、印制电路板、光电、半导体等行业的加热、冷却设备及钛设备为主的生产型企业。
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佛山市能博机电有限公司专业生产PCB和钛电加热器、不锈钢电加热器、石英电加热器、铁氟龙电加热器、钛管、钛包铜、铁氟龙换热器、钛挂具、钛碟、钛螺丝、白金钛网、电镀挂具,钛篮,钛槽、钛轴、电加热器,冷热交换器及太阳能产业配件等研发。可按照客户的定制要求定做,有需求详谈。
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