涡轮分子泵型号 | HiPace™ 10-700 | HiPace™ 1200-2300 | HiPace™ 2400 / 3400 MC |
对N2抽速 | 10-685 1/s | 1250-1900 1/s | 2100-2950 1/s |
对N2压缩比 | 2x10E6->1x10E11 mbar | >1x10E8 mbar | >1x10E9 mbar |
转速 | 90000-49200 1/min | 37800-31500 1/min | 29400-24000 1/min |
重量 | 17.4 kg | 47 kg | -94 kg |