1、拆卸及清洗
第一步，拆卸三角皮带，拆卸泵进出口管道和伴热蒸汽管线、氮气管线;拆卸地脚螺栓，把真空泵移到检修平台;
第二步，打开泵顶部各级盖板，用塞尺从上盖板处插人测量转子和各级隔板的前后间隙，做好记录;
最后，在真空泵上部的整个平面位置用记号笔，做好明显标记以免恢复时出错;标记清楚主动转子和从动转子的前后方位;拆卸真空泵的泵体连接螺栓，逐级从尾端拆卸，同时测量和记录各级隔板之间的纸垫厚度，直到完全解体。用酒精清洗干净真空泵各部件，结垢的部分可用纱纸清理;转子墙板和隔板拉毛的部分用锉刀修理平整，抛光机打磨光洁。
2、安装步骤
准备好需要更换的新转子、滚动轴承、油封、机械密封、调整纸垫;把前后轴承箱墙板上的油封更换好备用。
(1)用长方形框架固定检修平台上，把一级转子的前端隔板放在上面，按照标记放入主动和从动转子，逐级安装泵壳、隔板、级间密封环、调整纸垫以及四角处的圆柱定位销，注意调整纸垫的厚度需要和拆卸时的记录一致，拧紧泵体紧固螺栓。
(2)泵体平放检修台，安装两端隔板处转子的节流环;安装轴承箱内墙板;安装轴承座及轴承。
(3)用塞尺检查各级转子和隔板的前后间隙，要求其符合真空泵的检修手册间隙数据，一般是保证转子和前后隔板的间隙大于所要求的最小值，调整范围在0~+0.10mm。
(4)预装同步齿轮:安装锁紧有键槽的同步齿轮，有圆锥的同步齿轮先用手轻轻压紧即可。
(5)肥两转子角度调整为交叉90°，用塞尺插人第二级两转子之间，固定长轴垂直的转子;用手轻轻盘车另一个转子，感觉松紧前后相当，再把锁紧螺母拧紧在圆锥同步齿轮上;再手动盘车应无卡死现象。
(6)用塞尺检查各级转子间的间隙，在两转子与水平线成±45°位置要作检查;D为两转子的总间隙，一般要求转子在-45°时为D/3，转子在+45°时间隙为2D/3。
(7)安装前后轴承箱后盖板及油封、机械密封，安装后端冷却水箱，安装皮带轮;
(8)罗茨真空泵安装回原设备基础，紧固地脚螺栓，调整三角皮带松紧度，恢复进出口管道连接。
(9)加润滑油，检查密封情况，准备试车。
