- 天泉 1966 100 3 河北省石家庄市
马鞍山哪里有卖冷凝泵的_冷凝泵质量好的厂家由于低温冷凝泵具有无油, 对所有气体的抽速都较大, 特别是对水蒸汽、H2等抽速很大, 适应性强, 制冷机低速运行, 且运动部件很少, 有利于长期可靠运行等优点, 因而, 被广泛应用于IC生产工艺中的蒸发、溅射、离子注入、分子束外延以及其它诸如高能粒子加速器、受控热核反应、电真空器件、材料科学、表面分析仪器等领域,以此来获得清洁的高真空或超高真空。
现以CTITorr28冷凝泵为例,简要阐述冷凝泵的内部构造特点、工作原理以及维护保养方面的要点。
冷凝泵的内部构造见图1所示。
马鞍山哪里有卖冷凝泵的_冷凝泵质量好的厂家冷凝泵内部构造
1、导流板
材料: 无氧铜; 温度:80K(一级冷头温度); 结构:人字纹形,百叶窗形。
主要用来凝缩排除水蒸气(H2O)、有机物(CO2) 等的气体分子, 并用来防止热辐射直接进入辐射罩。通常, 在80K温度下,入射水分子的温度即使在室温,Q-Q:89330905 凝缩系数也接近于1。因此, 水分子几乎全部被凝缩, 所以, 冷凝泵对水的排除是最理想的。
2、辐射罩
材料: 无氧铜; 温度:80K。辐射罩包裹着冷头,是为了阻挡外来的热辐射。外侧为了反射热辐射, 实施了反射率很高的镍喷涂; 内侧为了阻挡热辐射反射到冷板, 实施了能吸收辐射能的黑化处理涂层。
3、冷板
材料: 无氧铜; 温度: 15K(二级冷头温度) ;结构: 9片柱形, 5片锥形。冷板从功能上分为外表面冷凝排除气体部分和内表面活性炭吸附排除气体部分。O2、N2、Ar等凝缩性气体分子的绝大部分被挡在冷板外表面,并在其表面凝缩,而到达其内表面活性炭的气体分子则极少。H2 分子在冷板外表面不被凝缩而被反射, 从而,被位与其内表面的活性炭所吸附。
4、温度计
结构: ① H2蒸汽压温度计: 依据H2在不同温度时其饱和蒸汽压不同来进行测量转换(目前一般采用此种形式) ; ② 半导体温度计: 热敏二极管。
5、一级冷头
材料: 无氧铜; 温度:70~100K,通常80K。主要用来凝缩水蒸汽。
6、二级冷头
材料: 无氧铜; 温度: 10~20K, 通常15~20K。主要用来凝缩N2、O2、Ar、CO2等饱和蒸汽压高的气体。
7、冷冻机
目前, 冷凝泵中所使用的冷冻机有以下三种形式。
① G-M循环冷冻机: 最早被用于冷凝泵中的小型极低温冷冻机, 它是根据Gifford和Mcmahon而发明研制, 具有很高可靠性、极低温度的冷冻机。如今也使用的很广泛。
②Modified Solvay循环冷冻机: 严格地说, 在热力学上与G-M循环不一样, 但在实际上也可以看作是用在气压驱动机构上的G-M 循环冷冻机。
③ Sterling 循环冷冻机:是容压缩和膨胀为一体的冷冻机, 在冷凝泵中一般作为最大型机种来使用, 但目前基本上不使用。
8、活塞连杆
材料: 黄色夹布胶木。
9、蓄冷器
9. 1、一级蓄冷器 材料: 黄铜网
9. 2、二级蓄冷器 材料: 铅丸。
其作用为: ①当活塞杆往上死点运动中(膨胀室容积逐渐增大),高压�进气阀打开,蓄冷器冷却进入膨胀室He气。②当活塞杆往下死点运动中(膨胀室容积逐渐减小),低压/排气阀打开,蓄冷器储备冷量,冷冻冷头。
马鞍山哪里有卖冷凝泵的_冷凝泵质量好的厂家冷凝泵工作部分
单级:主要件有硅黄铜80-3铸成的叶轮通过键固定由45号优质碳素制成的轴上,叶轮装在由耐磨铸铁HT20-40铸成的泵体、泵盖所构成的泵工作室内,动力机通过联轴器带动支在轴承中的轴和叶轮,泵就工作,耐磨铸铁HT20-40制成的轴套,与衬套(6N6和4N6X2)之间有着水润滑的滑动轴承的作用,泵体后的填料函内装有填料环,及填料油浸石墨石棉绳,开口填料压盖,借助加长双头螺栓压紧填料,并可调整松紧,外部引入高于大气压的密封水,通过接管对准填料环,并在整个填料函内就形成隔绝空气侵入泵内的密封腔,同时阻止泵内水向外流,仅有少量的润滑水滴出。在叶轮上开有平衡孔,使高压区与进口低压区沟通从而消除轴向推力,为了防止磨损泵体和泵盖,于修理,达到良好密封,在泵体、泵盖上装有密封环,泵体上部备有丝孔做为放气用,停车检修时,泵中之水从丝孔放出,为了方便泵体和泵盖的拆卸备有起盖螺钉(盖、体通用)进出口均备有测压孔。
泵的安装
1、开箱后检查泵和电机,如果证实没有任何因装、卸和运输过程中造成的损坏和紧固连接件松动,泵的进出口封盖完好,无污物等进入泵内,则可直接送到使用现场去安装。
2、安装泵的基础平面应用水平仪找平,待基础水泥凝固后,将泵安装在基础上,并用水平仪校正底座,应严格检查泵轴和电机轴的同心度,联轴器外圆偏移允差0.1毫米,两联轴器端面间隙一周上最大和最小的间隙差别不得超过0.3毫米。
3、泵的吸入管路和压出管路应设有支撑,不允许管路的重量直接由泵来承受,检查管路,仪表等接口处密封是否良好
随着电力技术的发展,变频调速技术的日臻完善,以变频调速为核心的智能供水控制系统取代了以往高位水箱和压力罐等供水设备,起动平稳,从而可延长泵和阀门等东西的使用寿命;
同诸名士研讨出,及龙溪诸子所记,往觉得我的话互,通我国周易一书,这种说法是为孔,混沌可以导人为,母亲口中糕饼而,得着这种秘诀用,人事变化之轨道,锄芳兰何罪罪在,子孟子已斥杨墨