通常用以下参数来表示真空泵的工作特性:
(1)极限压强。在没有气体漏人泵内时,经过相当长时间的抽气后,泵的人口处所能达到的稳定的最低压强。
(2)抽气速率。在某一压强下,单位时间内流过泵进气口截面的气体体积。
(3)最大入口压强。泵在开始工作前,被抽容器中所具有的压强。
(4)最大反压强。在不破坏真空泵的正常工作时,泵出口处所能承受的最大压强。
(5)真空产生率。单位时间内泵自容器中所排除的气体质量。
(6)压缩比。真空泵的出口压强与它的人口压强的比值。