吸气离子泵的工作原理：被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的泵内表面上，从而形成真空。吸气离子泵有溅射离子泵、蒸发离子泵两种。
溅射离子泵 优点是：使用简单、可靠、无热、无噪声、无水、耗电少、维护费低等优点。缺点是：对惰性气体和大分子量的有机蒸汽抽速较低，阴极对污染很敏感，由于有笨重的磁铁，重量大，体积大，单位抽速成本高。（该泵的极限真空度为1．33×10-9Pa）
蒸发离子泵 泵内被电离的气体传输到以间断或连续方式升华或蒸发而复在泵内壁的吸气材料上而被吸附。该泵对氢、氮、氩和氦都有不同的抽速。该泵启动压力为1．33×lO-1Pa，工作压力范围为1．33×10-1～1．33×10-8Pa。
