涡轮分子泵的正常工作需要小于10Pa的前置压强，旋片式机械泵可作为前级泵。涡轮分子泵有专用的中频电源，是对泵内的电动机供电，接通中频电源后，几分钟内可使泵的转速达到额定值。泵的额定转速因型号而异，一般在30000-50000r/min内。立式泵应垂直放置，泵内承受高速旋转的轴承，需要通过冷却水冷却。近年来出现了不使用水冷而使用风冷，并且可以水平放置的立式涡轮分子泵，使用起来更为方便。
为达到分子泵的极限真空，需对被抽容器和泵体进行烘烤。因泵内的级间连接部分是用橡胶密封的，故泵体的烘烤温度不能过高（100～120℃）。真空系统充分除气后可得到10-6～10-7Pa的极限压强。
涡轮分子泵对分子相对质量大的气体压缩比大，因此极限真空主要决定于分子相对质量小的气体成分，如H2、He等。除此之外，容器及泵体放出的水汽也是影响极限真空的重要因素。由于具有高速旋转的部件，涡轮分子泵不能在磁场下运用，因为这会产生涡流，导致出现发热、叶片变形等现象。一般允许的杂散磁通密度为0．004-0．0llT。
涡轮分子泵内各轮叶之间、动轮叶与泵壁之间的空隙都只在lmm左右，因此工作时应严格防止异物进人泵内，以避免高速旋转的铝制叶片被打坏。
