真空泵油常见润滑故障有三种：真空泵油乳化、真空泵中积炭及真空泵油颗粒污染。
1、真空泵油乳化的原因分析
真空泵油与水是互不相溶的，在一定条件下，会形成稳定或不稳定的乳化液。在与水的接触中，油品是否乳化及乳化程度主要由真空油的组成成分及水的纯度、所含成分的性质而决定，同时也与真空油一水体系的温度及震动情况有关。
当真空油或水中存在着某类既有亲油基又有亲水基的表面活性物质时，它们会在温度及浓度适宜时缔合在一起，形成致密的单分子层将水包在其中。大量的缔合体均匀地分散在油中，就形成了油包水型乳化液。由此可见，控制油一水中表面活性物质的存在，破坏将水包在其中的表面活性物质致密的单分子层，是防止和抵抗两相共存体系乳化的根本途径。
2、真空泵中积炭形成的原因分析及危害
真空泵中积炭形成的原因较复杂，就润滑油方面来说，主要是真空泵内部润滑系统用油常以雾状形式与高温、高压、高氧分压的空气和金属催化剂相接触，使润滑油快速氧化变质；另一方面，油不断蒸发使较重组分残留在活塞顶部、排气阀腔和排气管道中不断受热分解，脱氢聚合。其产物与吸入气体中的机械杂质和真空泵内金属磨屑混在一起，沉积在机体表面上被进一步的加热，即成为积炭。
当真空泵在排气阀及排气管道处生成较多积炭时，排气阀就会动作不灵活或关闭不严，造成排出气体倒流气缸并重复压缩(即二次压缩)，使气体温度迅速上升。高的气体温度又加剧了润滑油的氧化反应，而反应热又不能被及时放出，使得排气管道内气体温度继续升高，再生成不完全燃烧产物、油的热分解产物等，气体中的油雾与空气组成了热气体。当温度达到润滑油的劣化极限时，会产生由积炭引起的真空泵锭转子咬死，热油蒸气压力也会对人造成很大威胁。
3、真空泵油颗粒污染造成的危害与防止方法
真空泵油中的颗粒污染，会黏结、堵塞过滤器、伺服阀、阀孔，增大泵和运动部件的磨损，加速真空油的老化变质，堵塞吸油粗滤器，使泵发生气蚀。要减小真空泵油颗粒污染造成的危害，就应强化真空油箱密封，或安装带有空气过滤器的呼吸孔，以减少外界杂质的侵人。成品真空油在储运过程中要防尘、防水。在真空泵油系统中，需装有过滤装置以清除污染颗粒，油箱底部最好安装磁性捕集器，同时定期检查、清洗过滤器。
