先由转动真空泵把系统抽到10-2Pa扩散泵油被加热沸腾，以高速从喷出的油蒸汽流不断将系统内气体分子带到泵的侧臂弯管球泡处集结，待气体密度达到机械真空泵的工作范围而被抽出，从而逐渐获得高真空。
扩散泵油
在泵结构一定和无漏气的前提下，油扩散泵的抽气特性和极限真空主要是看泵油的性能。泵油种类很多，表为几类主要泵油及其特性。
扩散泵油被电炉加热的时候，产生油蒸气顺着导流管经过伞形喷嘴向下面喷出。因为喷嘴外面有机械泵提供的真空（Pa），故油蒸气流可喷出一长段距离，构成一个向出气口方向运动的射流。射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁凝结为液体流回蒸发器，即靠油的蒸发 喷射 凝结重复循环来实现抽气。由进气口进入泵内的气体分子一旦落入蒸气流中便获得向下运动的动量向下飞去。由于射流具有高流速（约200m/s），高的蒸气密度，且扩散泵油分子量大（300～500），故能有效地带走气体分子。气体分子被带往出口处再由机械泵抽走。
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