往复式活塞真空泵的工作原理回转型机构最大的优点,是非接触式的,能够高速运转,可得到较高的抽速。但作为干式泵而言, 非接触式转子的冷却是困难的。然而对于往复式活塞泵来说,活塞和气缸的外表面都能和周围大气接触,很容易被大气对流散热, 而驱动机构也处在大气之中,有利于散热。目前有多级干式活塞泵(VRC型)串、并联工作,极限压力3～93Pa,抽速140～280L/m in。四级的往复式活塞泵,其结构布置如图9所示。
这种泵由于有接触式的密封故压缩比可达到5×104～105,它能从大气压抽到极限压力1Pa, 抽速为24m3/h。
活塞为阶梯状,在全长上有低摩擦系数的PTFE复合材料作成的衬垫保护,而气缸表面作硬化处理。故滑动面无需润滑。阶梯状活塞小直径处用唇形动密封,泄漏较少。为了增加抽速, 活塞1和2并联, 而最后的活塞4 是双向作用的,提高了活塞泵压缩比。在高压区时活塞1和2可通过辅助排气阀直接向大气中排气, 作为单级泵使用了,只有当入口压力下降时, 四级才串联压缩。这种泵最大特点是无油程度较高,颗粒物进入会影响泵的正常工作。这是它的缺点。
