分子泵和离子泵都属于真空泵。分子泵和离子泵属于不同原理的两种泵，两种泵的最大区别就是真空度的不同，一般用分子泵来实现高真空，用离子泵来实现超高真空。

换句话说分子泵可以作为离子泵的前级。三级串联使用。