单晶炉滑阀真空泵的简介-技术中心-机械知识-水泵问题-知道-水泵网

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匿名	收藏 \| 举报 2014-09-09 14:45 关注：162 回答：1 单晶炉滑阀真空泵的简介-技术中心-机械知识已解决悬赏分：20 - 解决时间 2014-09-09 14:45

匿名	支持(20) \| 反对(4) \| 举报 2014-09-09 14:45 目前国内单晶炉、多晶炉配用真空泵以滑阀真空泵2H120、滑阀真空泵2H150、滑阀真空泵2H70居多。其中清理单晶炉仍然使用水环真空泵2SK-6B型号。多晶硅炉配套真空泵可根据用户情况定制各类真空机组。　　单晶炉滑阀真空泵2H70主要性能参数：　　极限真空：6X10-2　　抽气速率：70L/S　　配用功率：7.5KW　　进气口径80mm　　排气口径76mm　　水环真空泵2SK-6B主要性能参数：　　极限真空：3300Pa　　抽气速率：6m3/min　　进排气口径：50mm　　配用功率：11KW

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